나노미터 구조물 수천 개 동시 제작하는 3차원 나노 프린팅 개발

조무정 기자 / 기사승인 : 2021-04-02 09:50:46
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[일요주간 = 조무정 기자] 서울대 공과대학 기계공학부 최만수 교수팀이 포항공과대 노준석 교수팀과 공동으로 100㎚(나노미터) 수준의 3차원 구조물을 제작할 수 있는 3차원 나노 프린팅 기술을 개발했다.

2일 서울대 공과대학에 따르면 연구팀은 기존 기술로 제작 가능한 구조물 크기의 100분의 1도 되지 않는 3차원 나노 구조물을 한 번에 수천 개 이상 제작할 수 있는 실용적인 기술을 개발하는 데 성공했다.

폴리머나 잉크를 전혀 사용하지 않는 것이 차이점이다. 또 건식 방법으로 금속 나노 에어로졸을 발생시킨 후 조립해 불순물을 최소화한 초고순도 구조물을 제작할 수 있다.  

 

▲ 에어로졸 기술을 이용해 3차원 나노 구조물 수천 개 이상을 동시에 제작할 수 있는 3차원 나노 프린팅 구조도. (사진=서울대 공과대학)

연구팀은 “3차원 나노 프린팅 기술은 높은 민감도의 3차원 나노 센서와 집적도를 극대화할 수 있는 3차원 나노 전자소자 등을 제작할 수 있어 기존 소자의 성능을 획기적으로 올릴 수 있다”며 “3D 나노 가스 센서는 기존 2D 필름 타입보다 민감도를 2배 이상 증가할 수 있을 것으로 계산된다”고 말했다.

현존하지 않는 새로운 소자의 구현도 가능하다. 예컨대 자연계에 존재하지 않는 물성을 인위적으로 설계해 구현하는 메타 물질의 제작에는 정교한 3차원 나노 구조물을 어레이로 만드는 것이 필수인데 연구팀이 발표한 3차원 나노 프린팅 기술로 구현할 수 있다.

이번에 발표한 3차원 나노 프린팅 기술로 특정 형태의 3차원 나노 금속 구조물 어레이를 제작한 후 원하는 인공 자기 물성을 구현해 미래 신소재인 메타 물질의 실용화를 앞당길 수 있음을 보여주었다.

제작 과정은 마이크로미터 크기의 구멍이 정렬된 비전도성 마스크와 실리콘 기판이 위아래로 분리된 상태로 놓여 있는 증착 챔버 안으로 하전된 나노입자와 이온을 주입하면 이온이 먼저 마스크 위에 축적되면서 마이크로미터 크기 구멍마다 정전기 렌즈를 형성시킨다.

이 정전기 렌즈를 통해 뒤따라 도달하는 하전나노입자들을 구멍 중심으로 집중해 100㎚ 수준의 에어로졸 제트로 집속하는 원리를 새로운 3차원 프린팅 기술에 사용했다.

나노입자의 부착과 동시에 실리콘 기판을 3차원으로 이송시키면 원하는 형태의 3차원 나노 구조물을 한 번에 수천 개 이상 제작할 수 있다. 마스크 구멍을 더 작게 만들면 수십 나노미터 이하의 3차원 나노 구조물도 제작할 수 있을 것으로 연구팀은 보고 있다.

연구책임자인 최만수 서울대 교수는 “현재의 3차원 프린팅 기술은 4차 산업혁명의 핵심요소 기술이면서 산업 제조 기술의 큰 변화를 일으키고 있지만, 이번 연구는 그 한계를 뛰어넘어 3차원 나노 금속 구조물까지 실용적으로 제작할 수 있다는 점에서 산업 제조 기술의 혁신을 일으킬 것”이라고 기대했다.

노준석 포항공대 교수는 “3차원 나노 프린팅 기술은 음의 굴절률, 슈퍼렌즈, 투명망토 기술로 알려진 메타 물질 분야의 최대 난제였던 나노미터 수준의 임의 형상 3차원 구조를 만들 수 있는 혁신적인 생산 기술로써 메타 물질 분야의 실용화에 한발 다가선 것”이라고 말했다.

이번 연구 결과는 세계적인 학술지 ‘네이처(Nature)’에 4월 1일 온라인 게재됐다.

 

 

 

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